■DC処理 直流電流(DC)を供給し、原料ガスをプラズマ状態にして行なう蒸着法の一種。 均一でない表面でもまんべんなく薄膜を形成できるほか、成膜速度が速く、また広い面積への処理が可能です。
■PIG処理 PIG放電により生成したプラズマを使用した蒸着法の一種。 DC処理と同じく、広範囲や不均等な表面に対して、まんべんなく薄膜を形成することができます。