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Opt-scoope(オプトスコープ)は、半導体やベアリングなどの微細粗さ解析や形状解析を、非接触、高分解能、広範囲で行うことが出来ます。分解能は、0.1nmです。短時間で、ワークの形状の面全体を三次元的に評価することが出来ます。
【製品の特長】
■最大5つのレンズを搭載可能
測定用途に応じて最適なレンズを選択できます。
■連続測定機能
オプションの25㎜〜50㎜の電動ステージを利用すれば、任意の場所を任意の順番で連続的に測定することが出来ます。
■スティッチング機能
干渉対物レンズの撮影範囲に収まらない対象物でも、指定した対象物の位置にステージが自動で移動し、連続的に測定します。測定した複数の画像をつなぎ合わせて広範囲の測定と評価を行います。
■短時間(数十秒)で測定完了
■オートフォーカス機能で測定効率向上