マイクロフォーカスX線透視装置 島津製作所
使いやすさと高機能をさらに極めたマイクロフォーカスX線透視装置。
電子、電機、自動車部品、樹脂、ゴム成形、電池などの非破壊検査観察に
電子、電機、自動車部品、樹脂、ゴム成形、電池などの非破壊検査観察に
密封管式マイクロフォーカスX線発生装置とデジタルフラットパネル検出器を搭載したマイクロフォーカスX線検査装置です。
■主な適用
・高密度実装基板やBGA、CSP、システムLSIの超微細部の接合状態（断線／接触）
・電子、電機、自動車部品、樹脂、ゴム成形、電池など
■主な仕様
・透視画像空間分解能 5μm
・搭載可能なワークの大きさ
SMX-1000Plus：340×450mm／SMX-1000LPlus：570×720mm
・搭載可能なワークの質量 5kg
・定格出力 90kV-250μA MAX10W
・表示倍率 約8～161倍（計算値）
・高密度実装基板やBGA、CSP、システムLSIの超微細部の接合状態（断線／接触）
・電子、電機、自動車部品、樹脂、ゴム成形、電池など
■主な仕様
・透視画像空間分解能 5μm
・搭載可能なワークの大きさ
SMX-1000Plus：340×450mm／SMX-1000LPlus：570×720mm
・搭載可能なワークの質量 5kg
・定格出力 90kV-250μA MAX10W
・表示倍率 約8～161倍（計算値）
お問い合わせ
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