SEM／走査型電子顕微鏡「JSM-IT210」（日本電子）

5軸移動がすべてモーター駆動のステージにより、安心かつ迅速にご使用いただけます。
「Zeromag」機能によって、は複数の試料をホルダーにセットした場合や特定箇所を観察する場合の視野探しが容易になります。また、特性X線スペクトルや元素マップを表示する「Live Analysis」は観察しながら、目的の元素を探すことができる機能です。

■主な仕様
分解能: (高真空モード) 3.0nm (30kV)、15.0nm (1.0kV) & (低真空モード) 4.0nm (30kV BED)
画像倍率：×5～×300,000（画像サイズは128mm×96mmに設定）
パワー：×15 ～ ×883,652 モニターに投影される画像レート（標準モニタでは全画面表示）
自動機能: フィラメント調整、ガン調整、ビーム調整、フォーカス/チルト調整(乱視)/明るさ/コントラスト
最大サンプルサイズ：直径150mm、高さ53mm/43mm
画像モード：二次電子像、REF像、組成像、トポグラフィー像、シャドウ像、PD像
観察画面：23.8インチタッチパネル
サポート機能：レシピ（標準/カスタム）、測定（2点間距離、平行線間距離、角度、直径など）、試料交換ナビ、信号深度機能、3D測定

オプション:
ㆍBackscattered Electron Detector (BED)
ㆍLow Vacuum Secondary Electron Detector (LVSED)
ㆍLow Vacuum Hybrid Secondary Electron Detector (LHSED)
ㆍEnergy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS)
ㆍ Stage Navigation System (SNS)
ㆍStage Navigation System (SNSLS)
ㆍChamber Scope (CS)
ㆍOperation Panel (OP2)
ㆍ3D Analysis Software (SVM)
ㆍOperation Table (TBL)