全周三次元測定装置　MLPシリーズ（三鷹光器）

完全非接触タイプになり全周輪郭測定、形状比較評価、表面形状測定がサブμmの高精度で測定可能。オプションのミラーを付ければ内径測定も可能。

主な特長
・非接触のレーザープローブ方式にて微細形状の測定可
・ステージ操作型の測定になり稼働範囲分が測定可能
・測定ワークは表面の色、反射率に左右されない
・レーザースポットは１μm
・オプションの先端ミラーを付ければ内径、外径の測定が１台で可能
・国際的粗さ標準片データとの高い相関性
・光学顕微鏡ベースの為測定部分の観察が可能

主な適用
・内径、外径測定が非接触にて測定可能
・極細針の内径測定
・凸レンズの３D形状評価
・精密パンチ穴の内径測定
・歯車、ギヤ測定
・ブレード、エンドミルの形状測定
・ベアリングの内径、外径測定

主な仕様
・分解能：MLP-3（0.1μm）、MLP-3SP（0.01μm）
・稼働範囲：X軸、Y軸：120mm Z軸：130mm AF軸40mm
・測定レンズ：100X
・レーザースポット径：1μm
・測定ワークサイズ：φ0.02～80mm オプション：φ120mm