完全非接触タイプになり全周輪郭測定、形状比較評価、表面形状測定がサブμmの高精度で測定可能。オプションのミラーを付ければ内径測定も可能。
主な特長
・非接触のレーザープローブ方式にて微細形状の測定可
・ステージ操作型の測定になり稼働範囲分が測定可能
・測定ワークは表面の色、反射率に左右されない
・レーザースポットは1μm
・オプションの先端ミラーを付ければ内径、外径の測定が1台で可能
・国際的粗さ標準片データとの高い相関性
・光学顕微鏡ベースの為測定部分の観察が可能
主な適用
・内径、外径測定が非接触にて測定可能
・極細針の内径測定
・凸レンズの3D形状評価
・精密パンチ穴の内径測定
・歯車、ギヤ測定
・ブレード、エンドミルの形状測定
・ベアリングの内径、外径測定
主な仕様
・分解能:MLP-3(0.1μm)、MLP-3SP(0.01μm)
・稼働範囲:X軸、Y軸:120mm Z軸:130mm AF軸40mm
・測定レンズ:100X
・レーザースポット径:1μm
・測定ワークサイズ:φ0.02~80mm オプション:φ120mm
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