マイクロフォーカスX線透視装置（島津製作所）

密封管式マイクロフォーカスX線発生装置とデジタルフラットパネル検出器を搭載したマイクロフォーカスX線検査装置です。

主な特長
・オールインワンの小さなボディーに大きな扉
・フラットパネル検出器採用でひずみのない、クリアな画像
・最大60度の斜め透視が可能
・かんたん計測
・広いコントラストレンジ

主な適用
・高密度実装基板やBGA、CSP、システムLSIの超微細部の接合状態（断線・接触）
・電子、電機、自動車部品、樹脂、ゴム成形、電池等

主な仕様
・透視画像空間分解能：5μm
・搭載可能なワークの大きさ：SMX-1000Plus⇒340×450mm　SMX-1000LPlus⇒570×720mm
・搭載可能なワークの質量：5kg
・定格出力：90kV-250μA MAX10W
・表示倍率：約８～１６１倍（計算値）