◾️主な特長
・光学像からSEM画像へスムーズな移行 "Zeromag"
・分析装置を立ち上げなくても観察中視野内の元素分析が可能 "Live Analysis"
・SEM観察中に三次元観察が可能 "Live 3D"
・試料投入後わずか3分で画像観察が可能
・オート機能により低倍率から高倍率まで鮮明画像
・低真空(LV)モードなら導電性のない試料も前処理不要
・詳細な形態観察ができる高真空(HV)モード
・コピー&ペースト不要の自動レイアウトによる結果出力
・観察からEDS分析まで、デスクトップで行なえるコンパクト設計
◾️主な適用
・品質管理
・異物分析
・元素分析
◾️主な仕様
写真倍率:×10~100,000(128㎜×96 ㎜を表示サイズとして倍率を規定)
画像モード:
【高真空】二次電子像、 反射電子像(組成、凹凸、立体像)、3D画像
【低真空】反射電子像(組成、凹凸、立体像)、3D画像
加速電圧:5kV, 10kV, 15kV (3段)
電子銃:タングステンフィラメント・ウェーネルト一体型グリッド
モーター駆動ステージ:X-Y 2軸 (標準)
最大試料寸法:Φ80 ㎜×50 ㎜(H)
本体:324㎜(W)×586㎜(D)×566㎜(H)
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的場 Matoba
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立テ Tate
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