クリーン環境関連機器
表面清浄度パーティクルモニタ PartSens/パーツセンス(インテクノス)
表面清浄度・清掃効果を数値化し、異物付着リスクを回避。ISO14644-9/ISO14644-13/VDA19.2の規格に準拠。
クリーンルームには、測定や除去が困難である「粗大粒子 (≧5 µm)」が存在します。その落下、堆積する性質により、全ての表面に付着し汚染します。残留した粒子は、ヒトやシステムが接触することで再分散し、汚染が進行します。そのため、適切な清掃による除去が必要です。
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主な仕様
<本体>
測定原理:グランシングライト照射式(ISO14644-9準拠)
測定項目:粒子径、粒子数、種別分類(反射性粒子、非反射性粒子、繊維)
検出サイズ(最長径で検出):
非反射性粒子 2 µm ~ > 3000 µm
反射性粒子 25 µm ~ > 3000 µm
繊維 50 µm ~ > 3000 µm
粒子径分布の表示:VDA19及びISO16232参照
測定様式:Distributive、Distributive/1000 cm²、Cumulative、Cumulative/1000 cm²
測定時間:10秒以下
1画像あたりの画素数:3872 × 2764 ピクセル
データ保存数:300 データ
スクリーン:タッチスクリーン、12.1” TFT(クリーンルーム用グローブ対応)
データ出力:TCP/IP、USB Type A(CSVデータ)、HDMI
電源:
アダプタ/AC入力 100-240 V AC-1, 4 A 50/60 Hz | DC出力 24 VDC @ 5A
LIB/定格電圧 11.1V, 7800mAh × 2個
重量:7.7 kg (バッテリー有)、6.7 kg( バッテリーなし)
推奨使用環境:温度5 ~ 30 ℃/湿度20 ~ 95 % RH(結露なきこと)
推奨保管環境:温度0 ~ 50 ℃/湿度98 % RH 以下( 結露なきこと)
<測定プローブ>
検出エリア:2.68cm(2 19.36 × 13.82 mm)
測定データ転送方法:無線LAN 2.4GHz
使用範囲:本体から10m以内
電源:ニッケル水素電池
校正:年1回 推奨
スクリーン:タッチスクリーン、LCD
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