クリーン環境関連機器
リアルタイム粒子堆積モニタAPMON/アップモン(インテクノス)
「粒子堆積率」を活用した、ISO推奨かつ最新の品質アセスメント。ISO14644-17規格に準拠。
粗大粒子(≧5 µm)が品質リスクを生じさせるなか、空間制御技術に傾倒し、異物を残留し続けているクリーンルームが多数存在します。粗大粒子は、吸引式のパーティクルカウンタによる定量化が難しく、粒子堆積の制御は、適切な監視から堆積時期の特定と堆積数の取得が必要です。
主な仕様
<センサ>
測定原理:レーザーホログラフィック方式
光源:20mAレーザーダイオード 406nM
レーザー安全基準:クラス2 M(IEC60825-1準拠)
計測粒径範囲:15 ~ 1000 µm
測定部表面積:25cm2(4.2cm2×6枚)
PDR:99%信頼区間±6%(長期)
測定間隔:最短5分(有線の場合)
寸法:W 390 × D 80 × H 150mm
重量:約5kg(電池を含む)
電源:ACアダプタ100 ~ 240V / 9V DC 550mA、または電池7.2V / 7.8Ah
バッテリ種類:リチウムイオン電池・充填可能
<検出カートリッジ>
材質:樹脂、ガラス
交換頻度(目安):3ヵ月程度(測定環境の清浄度に依存)
包装:管理された環境にて二重包装
交換時期:ソフトウェアで警告
<本体>
センサ接続数:最大2台可能
ワイヤレス接続(本体↔センサ):最大2台可能
データ出力:USB(CSVデータ)