搬送ロボット／タツモ（TAZMO）
高速搬送・高クリーン度を実現するタツモのセミコン（ウェハ）向け大気搬送ロボット
独自の技術が日本国内外で高く評価されるタツモのクリーン搬送ロボット。高速性・高クリーン性を追求し、高く信頼されています。パッケージ一括製造PLP対応のもの、フリーアクセス対応など、用途に合わせてリーズナブルも含めご提案が可能です。
【製品ラインアップ】
・PLP対応 サーボモータ仕様 大気用クリーンロボット
PLPに特化したシングルアームロボット・ダブルアームロボット
ワークサイズ最大650㎜角基板、最大到達距離1500㎜
・TT301Aシリーズ サーボモータ仕様 大気用クリーンロボット
EFEM用に開発された高性能かつ低価格搬送ロボット、SEMI F47対応
高速反動、高クリーン度を実現するタツモのフラッグシップモデル
(TT301A-RA / TT301A-WA / TT301A-WB / TT301A-SA）
・MTEシリーズ サーボモータ仕様 フリーアクセスロボット
300㎜ウェハに対応（MTE-Gは450㎜対応）
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモのフラッグシップモデル
(MTE-E / MTE-C / MTE-D / MTE-G）
・MTSRシリーズ ステッピングモーター仕様 フリーアクセスロボット
300㎜ウェハに対応
(MTSR-3 / MTSR-4）
・PLP対応 サーボモータ仕様 大気用クリーンロボット
PLPに特化したシングルアームロボット・ダブルアームロボット
ワークサイズ最大650㎜角基板、最大到達距離1500㎜
・TT301Aシリーズ サーボモータ仕様 大気用クリーンロボット
EFEM用に開発された高性能かつ低価格搬送ロボット、SEMI F47対応
高速反動、高クリーン度を実現するタツモのフラッグシップモデル
(TT301A-RA / TT301A-WA / TT301A-WB / TT301A-SA）
・MTEシリーズ サーボモータ仕様 フリーアクセスロボット
300㎜ウェハに対応（MTE-Gは450㎜対応）
高速搬送、高クリーン度を実現するタツモのフラッグシップモデル
(MTE-E / MTE-C / MTE-D / MTE-G）
・MTSRシリーズ ステッピングモーター仕様 フリーアクセスロボット
300㎜ウェハに対応
(MTSR-3 / MTSR-4）
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