搬送ロボット／タツモ｜高速搬送・高クリーン度を実現するタツモのセミコン（ウェハ）向け大気搬送ロボット

独自の技術が日本国内外で高く評価されるタツモのクリーン搬送ロボット。高速性・高クリーン性を追求し、高く信頼されています。パッケージ一括製造PLP対応のもの、フリーアクセス対応など、用途に合わせてリーズナブルも含めご提案が可能です。

【製品ラインアップ】
・PLP対応　サーボモータ仕様　大気用クリーンロボット
　PLPに特化したシングルアームロボット・ダブルアームロボット
　ワークサイズ最大650㎜角基板、最大到達距離1500㎜

・TT301Aシリーズ　サーボモータ仕様　大気用クリーンロボット
　EFEM用に開発された高性能かつ低価格搬送ロボット、SEMI F47対応
　高速反動、高クリーン度を実現するタツモのフラッグシップモデル
　(TT301A-RA / TT301A-WA / TT301A-WB / TT301A-SA）

・MTEシリーズ　サーボモータ仕様　フリーアクセスロボット
　300㎜ウェハに対応（MTE-Gは450㎜対応）
　高速搬送、高クリーン度を実現するタツモのフラッグシップモデル
　(MTE-E / MTE-C / MTE-D / MTE-G）

・MTSRシリーズ　ステッピングモーター仕様　フリーアクセスロボット
　300㎜ウェハに対応
　(MTSR-3 / MTSR-4）

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搬送ロボット／タツモ（TAZMO）