(คุณลักษณะพิเศษของ XYZAX AXCEL)
■ความแม่นยำสูงในระดับ Top class
ข้อผิดพลาดที่ยอมรับได้ในการตรวจวัดความยาวสูงสุด E0, MPE: 1.8+3L/1000μm
■ลดระยะเวลาในการตรวจวัดและเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานโดยการเพิ่มความเร็วในการเคลื่อนที่ของแต่ละแกน
ความเร็วในการเคลื่อนที่สูงสุด 700mm/sec
ความเร่งสูงสุด 2300mm/sec2
มีการติดตั้งกลไกในการเคลื่อนที่แบบใหม่เข้าไปในแต่ละแกนจึงทำให้สามารถเคลื่อนที่ได้อย่างรวดเร็วและมีเสถียรภาพ หากเปรียบเทียบกับรุ่นที่ผ่านมาของบริษัทความเร็วเพิ่มขึ้น 64%, ความเร่วงเพิ่มขึ้น 35%
■ความทนทานต่อสภาพแวดล้อมที่เป็นเลิศ
มีการติดตั้งฝาครอบแบบใหม่ รวมทั้งมีโครงสร้างที่ช่วยให้ X-axis guide และ Y-axis carriage ไม่ได้รับผลกระทบจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิโดยตรง นอกจากนี้โครงสร้างดังกล่าวยังช่วยยับยั้งการเปลี่ยนรูปของแท่นหินอันเนื่องมาจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอีกด้วย ดังนั้น จึงสามารถรับประกันความแม่นยำเมื่อมีการใช้งานภายใต้อุณหภูมิที่ 15~30℃ ได้
*มีอยู่ใน RDS รุ่นมาตรฐาน ส่วนรุ่น PH เป็น Option เสริม
■มีการติดตั้ง RDS head แบบ 2 แกนซึ่งสามารถหมุนได้ ±180° และ Scanning probe VAST XXT
RDS head แบบ 2 แกนซึ่งสามารถหมุนได้ ±180° (หมุนทีละ 5.0°) จึงสามารถกำหนดตำแหน่งได้สูงสุด 5,184 ตำแหน่งทั้งในแนวระนาบและตั้งฉาก
จากการใช้งานร่วมกับ Scanning probe VAST XXT ทำให้สามารถปรับมุมได้หลากหลายจึงสามารถทำการตรวจวัดด้วยวิธีการ Scanning ได้
นอกจากนี้ยังสามารถติดตั้ง Line laser sensor (LineScan2) แบบไร้สัมผัสได้อีกด้วย (เป็น Option เสริม) ทำให้สามารถลดระยะเวลาในการตรวจวัดผิวโค้งและนำมาซึ่งข้อมูลจำนวนมาก อีกทั้งยังมีประโยชน์ในการทำ Reverse engineering อีกด้วย