(คุณลักษณะพิเศษของ SURFCOM CREST)
■มีการติดตั้ง Laser sensor แบบนำแสงรุ่นใหม่ล่าสุด
มีการติดตั้ง Laser sensor แบบนำแสงรุ่นใหม่ล่าสุดที่ใช้ในระบบการตรวจจับการชนด้วยลำแสงเลเซอร์ของบริษัท TOKYO SEIMITSU ซึ่งมีความละเอียดสูงถึง 0.31nm
มีความละเอียดเมื่อเทียบกับรุ่น Dynamic range 42,000,000:1
เป็นเซนเซอร์ที่สามารถใช้ประเมินรูปร่างของชิ้นงานได้หลากหลายหรือใช้ประเมินรูปร่างของชิ้นงานที่หลบซ่อนอยู่ได้
■มีการติดตั้ง Linear monitor ที่ได้รับสิทธิบัตรในส่วนที่มีการเคลื่อนที่
มีการใช้ Linear monitor เพื่อลดแรงสั่นสะเทือนที่เกิดขึ้นในส่วนที่มีการเคลื่อนที่ ดังน้ัน จึงสามารถเคลื่อนที่ได้อย่างรวดเร็วและมีเสถียรภาพ
■สามารถวิเคราะห์ความหยาบของผิวและรูปร่างของชิ้นงานได้ด้วยการตรวจวัดเพียงครั้งเดียว
มีความแม่นยำสูงและให้ประสิทธิภาพในการตรวจวัดเป็นอย่างมาก
■เพิ่มความรวดเร็วในการตรวจวัด (200mm/s)
ขอบเขตในการตรวจวัดกว้างขึ้นในแนวนอน 200 mm และแนวตั้ง 13 mm
จากกลไกการเอียงส่วนขับเคลื่อนทำให้สามารถเคลื่อนที่ในทิศทางทำมุม ± 45° ได้ (SURFCOM CREST รุ่น T)