ผลิตภัณฑ์ห้องคลีนรูม
เครื่องวิเคราะห์อนุภาคพื้นผิว PartSens 4.0 (Intechnos)
หาปริมาณความสะอาดของพื้นผิวและผลการทำความสะอาด เพื่อหลีกเลี่ยงความเสี่ยงในการเกาะติดของสิ่งแปลกปลอม ได้รับการรับรอง ISO14644-9, -13 / VDA19.2
ในห้องคลีนรูม มี "อนุภาคหยาบ (≧ 5 µm)" ที่วัดและทำการตรวจสอบได้ยาก เนื่องจากการตกหล่นของอนุภาคขนาดใหญ่และการสะสมทับซ้อนกันเกาะติดอยู่ทั่วทั้งพื้นผิวส่งผลเกิดการปนเปื้อน อีกทั้งอนุภาคที่ตกค้างอยู่จะกระจายตัวอีกครั้งเมื่อมีการสัมผัสหรือเคลื่อนไหวจากมนุษย์และระบบการผลิต ทำให้เกิดการปนเปื้อนต่อไปอย่างไม่มีที่สิ้นสุด ดังนั้นจำเป็นต้องกำจัดอนุภาคด้วยเครื่องทำความสะอาดที่เหมาะสม
□ ตัวเครื่อง
หลักการวัด:Glansing light irradiation type การฉายรังสี (อ้างอิง ISO14644-9)
ประเภทการวัด:ขนาด ปริมาณ และการจำแนกประเภทของอนุภาค (อนุภาคสะท้อนแสง อนุภาคไม่สะท้อนแสง เส้นใย)
ขนาดการตรวจจับ (ตรวจพบโดยเส้นผ่านศูนย์กลางที่ยาวที่สุด):
อนุภาคไม่สะท้อนแสง 2 µm ~ > 3000 µm
อนุภาคสะท้อนแสง 25 µm ~ > 3000 µm
เส้นใย 50 µm ~ > 3000 µm
แสดงการกระจายขนาดอนุภาค:อ้างอิง VDA19 และ ISO16232
รูปแบบการวัด:Distributive, Distributive/1000 cm², Cumulative, Cumulative/1000 cm²
เวลาในการวัด:น้อยกว่า 10 วินาที
จำนวนพิกเซลต่อภาพ:3872 × 2764 pixel
จำนวนข้อมูลที่บันทึกไว้:300 ไฟล์
หน้าจอ:หน้าจอสัมผัส 12.1" TFT (รองรับการแตะด้วยถุงมือคลีนรูม)
Data output:TCP/IP, USB Type A(Data CSV), HDMI
Power supply:
Adapter AC Input 100-240 V AC-1, 4 A 50/60 Hz | DC Output 24 DC @ 5A
LIB Rated voltage 11.1V, 7800mAh × 2 ก้อน
น้ำหนัก:มีแบตเตอรี่ 7.7 kg, ไม่มีแบตเตอรี่ 6.7 kg
สภาพแวดล้อมการใช้งานที่แนะนำ:อุณหภูมิ 5 ~ 30 ℃ ความชื้น 20 ~ 95 % RH(ไม่มีการควบแน่น)
สภาพแวดล้อมการจัดเก็บที่แนะนำ:อุณหภูมิ 0 ~ 50 ℃ ความชื้นน้อยกว่า 98 % RH (ไม่มีการควบแน่น)
□ โพรบวัด
พื้นที่ตรวจจับ:2.68cm2 (19.36 × 13.82 mm)
วิธีการถ่ายโอนข้อมูลการวัด:Wireless LAN 2.4GHz
ขอบเขตการใช้งาน:ห่างจากตัวเครื่องไม่เกิน 10 เมตร
Power supply:แบตเตอรี่นิกเกิลเมทัลไฮไดรด์
การสอบเทียบ:ควรสอบเทียบ 1 ครั้ง/ปี
หน้าจอ:สัมผัสหน้าจอ Touch Screen, LCD