NANO INDENTATION TESTER ENT-5
1. เครื่องทดสอบการเยื้องระดับนาโนเพียงเครื่องเดียวที่มีกลไกควบคุมอุณหภูมิ
※ ควบคุมการขยายตัวทางความร้อนของตัวอย่างและเครื่องทดสอบ และปรับปรุงความสามารถในการทำซ้ำของข้อมูล
2. ใช้เทคนิค Stage ที่มีความแม่นยำสูงด้วยเครื่องมือวาดภาพอิเล็กตรอนที่บริษัท Elicon ได้พัฒนา
※ สามารถทดสอบความแข็งของตำแหน่งที่ต้องการทดสอบโดยเล็งไปที่ขั้นละ 0.1 µm
3. กลไกป้องกันการสั่นสะเทือน
※ เพิ่มประสิทธิภาพในการทำซ้ำสูง ด้วยการติดตั้ง Stage รูปทรงลิ่ม และโต๊ะป้องกันการสั่นสะเทือนแบบ Active แม้จะมีแรงสั่นสะเทือนที่รุนแรงก็สามารถได้ข้อมูลที่แม่นยำได้
■ Load system
【High load unit】
Load range ：0.005mN(5μN)～2,000mN（2N）
Resolution ：5nN
【Low load unit】
Load range ：0.005mN(0.5μN) ～10mN
Resolution ：0.03nN
・ Measurement range ：±50μm
Resolution ：0.3pm
Measurement method: Optical displacement sensor
・ Indentor
Berkovich indenter: α＝65.03°（Anti-ridge angle115°）
・External dimensions / Installation conditions
Testing machine body：650㎜(W)×650㎜(D)×1200㎜(H)
Power Supply：1Phase 100V/10A
Floor vibration：below 0.5gal p-p（Less low-frequency vibration）
・Options (Holder)
Heating holder：High load unit（Maximum heating temperature 250 ℃）
Low load unit（Maximum heating temperature 180℃）
Cooling holder: Temperature control range（-30℃～100℃）
Resin embedding holder: Resin-embedded sample holder for cross-section observation
Custom holder: ออกแบบ Design และผลิต Holder ให้เหมาะสมกับแต่ละชิ้นงาน
・Option (Measurement)
การทดสอบโปรไฟล์พื้นผิว：ฟังก์ชันที่ช่วยเล็งพื้นที่เป้าหมายและใช้หัวกดวัดรูปร่างตรงพื้นที่เป้าหมายได้ใช้ได้ดีกับชิ้นงานที่มีความขรุขระขนาดใหญ่
การทดสอบความหนืด：สามารถวัดโมดูลัสการจัดเก็บ (E)' โมดูลัสการสูญเสีย (E'') และปัจจัยการสูญเสีย (tanσ) โดยการสร้างโหลดที่ความถี่ใดก็ได้ในขณะที่กดหัวกดเข้าไปในตัวอย่างภายใต้โหลดคงที่ นอกจากนี้ เมื่อใช้ขั้นตอนการให้ความร้อนร่วมกัน จะสามารถประเมินอุณหภูมิการเปลี่ยนสถานะคล้ายแก้ว (Tg) ได้
การวัดอุณหภูมิแบบอ่อนตัว：สามารถวัดอุณหภูมิในการอ่อนตัวได้โดยการเพิ่มอุณหภูมิด้วยตัวจับความร้อนในขณะที่ให้หัวกดสัมผัสกับตัวอย่างภายใต้ภาระคงที่
การทดสอบใต้น้ำ：สามารถทดสอบความแข็งของตัวอย่างที่แช่ในน้ำได้
การทดสอบความแข็งแรงของอนุภาค： วิธีการบีบอัดหรือบดอนุภาคขนาดเล็กโดยใช้หัวกดแบบแบนเพื่อวัดความแข็งแรง
การทดสอบความต้านทาน:：สามารถวัดความต้านทานไฟฟ้าของอนุภาคนำไฟฟ้าขณะบีบอัดได้ด้วยฟังก์ชั่นเสริมสำหรับการทดสอบความแข็งของอนุภาค