Thiết bị đo
Thiết bị đo 3D không tiếp xúc Mitaka Kohki
Có thể đo hình dạng bề mặt mà không cần thay mẫu từ diện tích nhỏ đến diện tích rộng. Đo mẫu với góc dốc và hệ số phản xạ độc lập với độ phân giải cao 1 nm
Thiết bị dựa trên kính hiển vi quang học và sử dụng loại lấy nét tự động theo dõi với cảm biến AF. Đo độ chính xác cao từ một phạm vi hẹp đến một khu vực rộng tương ứng với chuyển động của bàn thao tác. Loại hoàn toàn không tiếp xúc, lý tưởng để đo độ nhám không tiếp xúc (độ nhám đường, độ nhám bề mặt) và đo bước.
■dòng số mô hình
NH series
NH-3SPs/PF-60
■Đặc trưng
・ Tự động lấy nét hoàn toàn không theo điểm tiếp xúc
・ Có thể đo phạm vi rộng
・ Mẫu được đo không bị ảnh hưởng bởi màu bề mặt hoặc độ phản xạ
・ Điểm laser tối thiểu là 0,8μm
・ Có thể đo với độ chính xác cao
・ Tương quan cao với dữ liệu tiêu chuẩn độ nhám quốc tế
・ Do dựa trên kính hiển vi quang học nên có thể quan sát được phần đo.
■Ứng dụng
・ Đo độ phẳng trên một phạm vi rộng
・ Bề mặt của các sản phẩm nhựa thông, v.v.
・ Đo hình dạng của thấu kính nói chung, bao gồm cả thấu kính phi cầu
・ Phép đo Z có độ chính xác cao, độ phân giải cao
・ Đo không tiếp xúc lớp mạ, v.v.
・nozzle, etc.
■Thông số kỹ thuật
・Độ phân giải Z:PF-60(10nm)、NH-3SPs(1nm)
・Phạm vi đo:PF-60(60×60mm)、NH-3SPs(150×150mm)
・ Phần mềm đánh giá giá đặc biệt dành cho ống kính (tùy chọn)
・ Mâm thao tác nâng hạ (tùy chọn)
・ Đo độ biến dạng do thay đổi nhiệt độ trong bể nhiệt độ không đổi được kiểm soát nhiệt độ có độ chính xác cao (tùy chọn)