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.youtube-container { position: relative; padding-bottom: 56.25%; padding-top: 30px; height: 0; overflow: hidden; } .youtube-container iframe { position: absolute; top: 0; left: 0; width: 100%; height: 100%; } クリーンルームには、測定や除去が困難である「粗大粒子 (≧5 µm)」が存在します。その落下、堆積する性質により、全ての表面に付着し汚染します。残留した粒子は、ヒトやシステムが接触することで再分散し、汚染が進行します。そのため、適切な清掃による除去が必要です。

粗大粒子（≧5 µm）が品質リスクを生じさせるなか、空間制御技術に傾倒し、異物を残留し続けているクリーンルームが多数存在します。粗大粒子は、吸引式のパーティクルカウンタによる定量化が難しく、粒子堆積の制御は、適切な監視から堆積時期の特定と堆積数の取得が必要です。

.youtube-container { position: relative; padding-bottom: 56.25%; padding-top: 30px; height: 0; overflow: hidden; } .youtube-container iframe { position: absolute; top: 0; left: 0; width: 100%; height: 100%; } 主な特長 ・水道に繋ぐだけで超純水（18.2MΩ-cm, TOC＜5ppb) の採水が可能 ・採水量は滴下～最大2L／分 ・リアルタイムTOCモニタリング（TOCモニター） ・タンク内の水を定期的に循環させ水質を維持 ・両波長のUVランプにより残存有機物を低減 ・採水量設定機能付き ・小型装置に7Lタンク内蔵 ・B4サイズのコンパクト設計 ・オプションにて漏水センサーシステム（電源、給水遮断型）へ変更可