เครื่องวิเคราะห์อนุภาคพื้นผิว PartSens 4.0 (Intechnos)
.youtube-container { position: relative; padding-bottom: 56.25%; padding-top: 30px; height: 0; overflow: hidden; } .youtube-container iframe { position: absolute; top: 0; left: 0; width: 100%; height: 100%; }
ในห้องคลีนรูม มี "อนุภาคหยาบ (≧ 5 µm)" ที่วัดและทำการตรวจสอบได้ยาก เนื่องจากการตกหล่นของอนุภาคขนาดใหญ่และการสะสมทับซ้อนกันเกาะติดอยู่ทั่วทั้งพื้นผิวส่งผลเกิดการปนเปื้อน อีกทั้งอนุภาคที่ตกค้างอยู่จะกระจายตัวอีกครั้งเมื่อมีการสัมผัสหรือเคลื่อนไหวจากมนุษย์และระบบการผลิต ทำให้เกิดการปนเปื้อนต่อไปอย่างไม่มีที่สิ้นสุด ดังนั้นจำเป็นต้องกำจัดอนุภาคด้วยเครื่องทำความสะอาดที่เหมาะสม